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        5500M 全自動型原子力顯微鏡

        發布時間:2022-08-02 08:58:40瀏覽次數:

        AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。

        特點

        1. 自動化功能

        高度集成自動化功能追求高效率檢測,降低檢測中的人為操作誤差

        2. 可靠性

        排除機械原因造成的誤差,大范圍水平掃描

        采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。

        AFM5500M搭載了最新研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。

        高精角度測量

        普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。

        AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

        3. 融合性

        親密融合其他檢測分析方式

        通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。

        上圖是AFM5500M拍攝的形貌像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。

        通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

        石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。

        SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

        與其他顯微鏡以及分析儀器聯用正在不斷開發中。

        注:該儀器未取得中華人民共和國醫療器械注冊證,不可用于臨床診斷或治療等相關用途

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