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白光干涉顯微鏡VS1800

發(fā)布時(shí)間:2020-01-07 15:09:12瀏覽次數:
產(chǎn)品創(chuàng )新點(diǎn)

上市時(shí)間:2019年3月
(1)高測量性能 ,垂直方向分辨率高,重現性好,測量速度快,測量視野廣,無(wú)損傷測量
(2)易于使用的操作界面
(3)ISO 25178參數對比工具
(4)硬件全面升級

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

日立高新技術(shù)科學(xué)公司于2019年3月起,在中國開(kāi)始銷(xiāo)售利用光干涉原理進(jìn)行非接觸式無(wú)損傷三維表面形態(tài)測量的納米尺度3D光學(xué)干涉測量系統“VS1800”,該產(chǎn)品搭配有支持多目的表面測量國際標準“ISO 25178*1參數對比工具”,通過(guò)簡(jiǎn)單而準確的樣品測量支持客戶(hù)的分析業(yè)務(wù),與此同時(shí),憑借不斷創(chuàng )新積累的三維測量性能,實(shí)現高精度、高分辨率的表面性狀的測量。

在半導體、汽車(chē)、食品、醫藥品等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的材料研究和開(kāi)發(fā)方面,為了提高產(chǎn)品的性能與功能,對產(chǎn)品表面的粗糙度、凸凹不平、翹曲等表面形狀的評估變得尤其重要。以往,表面形態(tài)的測量方法,一般是采用觸針式粗糙度測量?jì)x等進(jìn)行二維測量(線(xiàn)+高差),但近年來(lái),伴隨著(zhù)材料的薄膜化和微細構造化的加速,需要獲取更多的信息,因此,采用掃描型白光干涉顯微鏡*2和激光顯微鏡*3等進(jìn)行三維測量(面+高差)便得到了靈活應用。

 此外,2010年制定了有關(guān)三維表面形態(tài)評估的國際標準ISO 25178,確立了評估方法,在這種背景下,實(shí)施三維測量的企業(yè)和研究機構等日益增多。因此,需要我們急切實(shí)現有關(guān)表面形態(tài)測量上的測量與分析的簡(jiǎn)單化以及應對多種樣品的測量問(wèn)題。

此次發(fā)售的“VS1800”產(chǎn)品, 搭配了符合ISO 25178標準的分析工具 “ISO 25178參數對比工具”。在ISO 25178標準中規定了評估表面性狀的32個(gè)項目的參數,但在對比樣品時(shí),選擇最適合評估的參數很難,成為分析業(yè)務(wù)的難題。“ISO 25178參數對比工具”,通過(guò)按差異程度大小順序自動(dòng)對測量的參數值進(jìn)行依次排序,可輕松選出最適合對比樣品的參數,從而支持客戶(hù)的分析業(yè)務(wù)。
 
此外,“VS1800” 產(chǎn)品,通過(guò)光干涉方法*4除了可實(shí)現大視野測量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重現性外,亦通過(guò)日立高新技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),繼承了多層膜的無(wú)損傷測量等傳統產(chǎn)品的高測量性能。此外,該產(chǎn)品還可搭配“大傾斜角測量選配 ”*6功能,通過(guò)捕捉大傾斜角斜面的微弱的干涉條紋變化,實(shí)現傳統的光干涉方式無(wú)法實(shí)現的大傾斜角斜面測量,從而應對多種多樣的樣品表面性狀的三維測量。

 
日立高新技術(shù)集團擁有可實(shí)現極微細樣品的高分辨率測量的原子力顯微鏡、掃描電子顯微鏡直至大視野、高精度測量可能的“VS1800”等產(chǎn)品陣容,提供表面分析解決方案,從而滿(mǎn)足客戶(hù)的廣泛需求。

*1 ISO 25178:規定表面形態(tài)評估方法的國際標準。
*2掃描型白色干涉顯微鏡:利用光干涉原理進(jìn)行非接觸式、無(wú)損傷的表面形態(tài)測量的測量設備。
*3激光顯微鏡:將激光作為光源進(jìn)行表面形態(tài)測量的測量設備。
*4光干涉方法:是利用兩列或兩列以上的光波相互疊加而出現光明暗(干涉條紋)現象(干涉)的檢查方法。
*5 0.01 nm的垂直方向分辨率為Phase模式時(shí)的性能。
*6“大傾斜角測量選配”為選擇項目。
 
 
【主要特點(diǎn)】
(1)高測量性能
a.垂直方向分辨率:利用光干涉方法,通過(guò)獨自的算法,實(shí)現0.01 nm*的垂直方向分辨率
b.重現性:利用干涉條紋測量凸凹的高度,通過(guò)將來(lái)自Z驅動(dòng)機構的影響最小化,實(shí)現0.1 %以下的重現性
c.測量速度:由于不需要樣品的前處理,只要將樣品放置在樣品臺上即可完成測量準備。通過(guò)光干涉方法最 快5秒鐘即可完成測量
d.測量視野:以從干涉條紋獲取的信息為基礎進(jìn)行凸凹高度的測量,由此可實(shí)現廣范圍(One-shot最 大6.4 mm×6.4 mm)測量與高垂直方向分辨率的兩者兼顧。此外,通過(guò)連接多個(gè)數據的圖像,可進(jìn)一步實(shí)現廣范圍的分析
e.無(wú)損傷測量:通過(guò)日立高新技術(shù)科學(xué)自主研發(fā)的技術(shù),對玻璃和薄膜等透明多層結構樣品進(jìn)行測量時(shí),無(wú)需對樣品進(jìn)行加工切割成截面,即可在無(wú)損傷的情況下,完成多層結構樣品的各層厚度或異物混入狀況的確認以及缺陷分析等 
 
* Phase模式時(shí)
 
(2) 易于使用的操作界面
采用直觀(guān)易懂的操作界面,能夠輕而易舉地進(jìn)行圖像分析處理前后的圖像對比,從而支持分析時(shí)的最合適圖像處理選擇。此外,可簡(jiǎn)單地列出處理與分析的內容、創(chuàng )建獨自的分析參數、重復使用分析參數等,并且還可批量處理數據,由此實(shí)現統一管理多個(gè)樣品和分析結果,減輕繁瑣復雜的后處理。
 
(3) ISO 25178參數對比工具
在對比多個(gè)樣品時(shí),通過(guò)將ISO 25178標準中規定的32項參數值按差異的大小順序重新排列,從而在樣品對比時(shí)能夠輕松選取最適參數,支持客戶(hù)的分析業(yè)務(wù)。
 
(4) 硬件升級
按每一臺XY樣品臺的驅動(dòng)方式,設計了3個(gè)類(lèi)型的產(chǎn)品,即基礎模式的手動(dòng)型Type 1、電動(dòng)型Type 2、Type 3。從Type 1到Type 2、Type 3,均可根據不同的用途進(jìn)行升級。
 
注:該儀器未取得中華人民共和國醫療器械注冊證,不可用于臨床診斷或治療等相關(guān)用途


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